[发明专利]一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果显示方法

摘要

本发明涉及一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置和结果的显示方法，该装置包括箱体、控制系统模块、通信模块、密封门、测试平台柱、测试平台、吸气管、电机、扇叶、木塞、通风道、测试槽、电极、吸气孔、液晶显示屏。所述测试平台不涉及复杂的电机控制，而且利用吸力控制测试片与电极的接触电阻，测量更加精确。该微区电阻率测量装置运用伪测量值法进行测量，同时与手机APP相结合，测量简单方便，更加智能化。一种硅片微区电阻率结果的显示方法，可以更直观形象的显示出待测试片电阻率的均匀性，从而判断待测试片是否符合工业要求。

主权项

1.一种基于伪测量值法的微区电阻率测量装置，其特征在于，该装置包括箱体、控制系统模块、通信模块、密封门、测试平台柱、测试平台、吸气管、电机、扇叶、木塞、通风道、测试槽、电极、吸气孔、液晶显示屏。所述箱体上部设置一密封门，箱体底部内表面固定一测试平台柱；在所述测试平台柱上固定一测试平台；在所述测试平台承载面上设置若干个测试槽，该测试槽为圆形；在所述测试槽上均匀固定若干数量的电极，该电极贯通测试平台，并且电极上端需比测试槽面高出一部分；在所述测试平台中部横截面的中心呈发射状散开一些通风道，所述通风道不与电极发生接触；在所述测试槽面上均匀分布若干吸气孔，吸气孔与通风道贯通，用于吸附电极与待测试片，使其接触良好；在所述测试平台柱的中空处嵌入一吸气管，使密封性良好；在所述吸气管底部固定一电机，驱动扇叶转动，产生气流；所述扇叶与电机连接，固定在电机上方；在测试平台侧面的通气道口均匀分布若干数量的木塞，将通气道堵塞，木塞的数量与通风道的数量相等；通信模块、液晶显示屏、电机、电极均与控制系统模块电连接，控制系统模块通过通信模块控制电机的转速及电极的激励大小，并通过液晶显示屏显示测量的结果分布，通信模块与用户移动端的APP进行通信连接。