[发明专利]MSM型多孔氧化镓日盲探测器及其制造方法

摘要

本公开提供了一种MSM型多孔氧化镓日盲探测器及其制造方法，其中探测器包括：外延结构和在外延结构表面蒸镀的MSM电极；外延结构包括：衬底、衬底上的u‑GaN外延层和u‑GaN外延层上的n‑GaN外延层；在n‑GaN外延层上层进行电化学腐蚀得到多孔结构的n‑GaN外延层，对多孔结构的n‑GaN外延层进行氧化处理得到多孔结构的氧化镓外延层；MSM电极蒸镀在多孔结构的氧化镓外延层表面。本公开通过热氧化法氧化多孔结构的n‑GaN制备多孔氧化镓日盲探测器能够显著增大氧化镓薄膜的比表面积，使更多的氧分子在多孔氧化镓的表面发生吸附和解吸附，从而大幅度提高氧化镓探测器的紫外探测性能。