[发明专利]离子源和等离子体处理设备在审
| 申请号： | 201811149276.0 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110970280A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子源和等离子体处理设备，离子源包括反应腔，包含一环形腔体，环形腔体上设置有进气管和出气管，环形腔体内壁的径向截面为圆形，进气管内壁和出气管内壁的径向截面均为椭圆形，且三者内壁光滑过渡。环形腔体上环绕有环形磁芯，环形磁芯连接射频电源。本发明离子源消除了腔体内壁棱角，为等离子体提供了一光滑无棱角的环形生成回路，能最大限度保证等离子体回路顺畅，减少不必要碰撞消损和热传导，增了加等离子体效益时间；且降低了反应腔各部分的降低了热通量，减少了效能损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
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