[发明专利]一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法在审
| 申请号： | 201811139845.3 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109103748A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张建伟;宁永强;张星;朱洪波;曾玉刚;张继业;梁磊;吴昊;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/42;H01S5/183;H01S5/022 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法，激光器阵列包括衬底、第一周期性层叠镜面结构、发光层和第二周期性层叠镜面结构，由所述第二周期性层叠镜面结构形成若干以阵列形式排布的呈台状的出光单元；在所述出光单元上设置有用于调控出射光的透镜，若干所述出光单元至少包括对应出光单元设置的透镜中心轴与该出光单元中心轴不重合的出光单元。对应出光单元制作的透镜能够偏转出光单元的出光方向，能够实现调控垂直腔面激光器阵列输出激光的出光方向。 | ||
| 搜索关键词： | 出光单元 镜面结构 垂直腔面发射激光器阵列 透镜 制作 垂直腔面激光器 偏转 激光器阵列 透镜中心轴 阵列输出 阵列形式 不重合 出射光 发光层 中心轴 调控 衬底 排布 台状 激光 | ||
【主权项】：
1.一种垂直腔面发射激光器阵列，其特征在于，包括衬底、第一周期性层叠镜面结构、发光层和第二周期性层叠镜面结构，由所述第二周期性层叠镜面结构形成若干以阵列形式排布的呈台状的出光单元；在所述出光单元上设置有用于调控出射光的透镜，若干所述出光单元至少包括对应出光单元设置的透镜中心轴与该出光单元中心轴不重合的出光单元。
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