[发明专利]一种基板清洗机及基板清洗系统在审
| 申请号： | 201811135706.3 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109226010A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 董攀;王红菊;龚亮 | 申请（专利权）人： | 昆山市和博电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;B24B27/033;F26B15/10;F26B21/00;F26B21/06 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板清洗机及基板清洗系统，包括打磨部件、水平移动组件、垂直移动组件和清洗喷头；其中，水平移动组件包括滑动块、连杆、圆盘和旋转驱动部件；旋转驱动部件的输出端与圆盘连接，连杆的第一端活动连接在圆盘的圆周上，连杆的第二端活动连接在滑动块上；基板置于滑动块和垂直移动组件的下方，垂直移动组件安装在滑动块上，打磨部件安装在垂直移动组件的下端，打磨部件对基板进行打磨，清洗喷头置于基板的斜上方。本发明主要有益效果是可靠性高，采用纯水湿润，绒棉打磨的方式，能有限整合整个行业所有的基板清洗方式，有效的处理基板表面的粉屑，火山口。避免了其他方式清洗不够彻底，超声波有限但对产品膜层的损伤问题。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直移动组件 打磨 滑动块 基板清洗 基板清洗系统 水平移动组件 旋转驱动部件 活动连接 清洗喷头 基板 处理基板表面 部件安装 火山口 产品膜 超声波 第一端 对基板 输出端 斜上方 粉屑 绒棉 下端 整合 清洗 湿润 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗机，其特征在于：包括打磨部件、水平移动组件、垂直移动组件和清洗喷头；其中，水平移动组件包括滑动块、连杆、圆盘和旋转驱动部件；旋转驱动部件的输出端与圆盘连接，连杆的第一端活动连接在圆盘的圆周上，连杆的第二端活动连接在滑动块上；基板置于滑动块和垂直移动组件的下方，垂直移动组件安装在滑动块上，打磨部件安装在垂直移动组件的下端；打磨时，打磨部件在垂直移动组件的驱动下向基板方向移动并接触到基板表面，圆盘在旋转驱动部件的驱动下旋转，连杆的第一端沿着圆盘的圆周同步旋转，连杆的另一端驱动滑动块进行往复移动，打磨部件对基板进行打磨，清洗喷头置于基板的斜上方。
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