[发明专利]化学机械研磨浆料及化学机械研磨方法在审
| 申请号： | 201811131662.7 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109571240A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 孙旭昌;陈科维;陈亮光 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/27;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开涉及化学机械研磨方法和化学机械研磨浆料。提供用于化学机械平坦化/研磨的研磨浆料成分。研磨浆料包括胶态氧化铝、分散剂以及pH值缓冲剂。胶态氧化铝具有的颗粒尺寸在约5nm与约100nm之间。胶态氧化铝可以是α相材料或γ相材料，α相材料具有莫氏硬度约9的第一硬度，γ相材料具有莫氏硬度约8的第二硬度。研磨浆料可还包括聚丙烯酸、下压力增强剂或研磨速率抑制剂。 | ||
| 搜索关键词： | 化学机械研磨 胶态氧化铝 研磨浆料 莫氏硬度 研磨 化学机械研磨浆料 化学机械平坦化 聚丙烯酸 分散剂 下压力 抑制剂 增强剂 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨方法，包括：将一浆料导至一化学机械研磨垫，该浆料包括胶态氧化铝；以及以该浆料及该化学机械研磨垫研磨一半导体装置层。
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