[发明专利]一种片上光学干涉式角速度传感模块

摘要

本发明公开了一种片上光学干涉式角速度传感模块，包括分束模块，用于将输入光束等功率分束，模式转换模块，用于将输入的相向传输的两光束的其中一束由基横电模TE0转化为一阶横电模TE1，并在通过传感波导线圈之后再由TE1模式转化为TE0模式输出，而另一束光束则保持为TE0模式，并在通过传感波导线圈之后一直保持TE0模式输出，波导线圈模块，用来感应角速度信号以及实现双光束的固定相位差，干涉模块，用于将两束携带了角速度的相位信号的光束相互干涉，将相位信号转化为强度信号，本发明避免了相位调制器及环形器的使用。

主权项

1.一种片上光学干涉式角速度传感模块，其特征在于，包括：分束模块(1)，包括三个端口，第一端口用于接收单色光源，分束模块(1)用于将所述单色光源等功率分为两束光；模式转换模块(2)，包括六个端口，第一端口和第二端口与所述分束模块的第二端口和第三端口连接，所述模式转换模块(2)用于将所述两光束中的一束光由基横电模TE0转化为一阶横电模TE1，并在通过传感波导线圈之后又由TE1模式转化为TE0模式输出，而另一光束则一直保持为TE0模式，并在通过传感波导线圈之后仍然保持TE0模式输出；波导线圈模块(3)，与所述模式转换模块(2)的第三端口和第四端口连接，用于感应角速度信号以及实现相向传输双光束的固定相位差，TE1与TE0模式分别在波导线圈中沿顺、逆时针方向传输，两光束将产生一个模式导致的固定相位差，根据Sagnac效应，在旋转的情形下，相向传输的两光束将产生一个角速度导致的相位差；干涉模块(4)，与所述模式转换模块(2)的第五端口和第六端口连接，用于将携带角速度信号的两束光束相互干涉，将相位信号转化为强度信号。