[发明专利]电镀模具及其制造方法有效
| 申请号： | 201811122842.9 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109628961B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | M·韦拉尔多;A·甘德尔曼;M·夏布洛兹;P·屈赞 | 申请（专利权）人： | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;C25D1/10 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 刘敏;吴鹏 |
| 地址： | 瑞士勒*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造模具(3，3')的方法，包括以下步骤：a)提供其厚度至少等于模具(3，3')的高度的由光敏玻璃制成的第一基板(5)，b)用紫外线透过掩模照射所述第一基板(5)以产生经照射区域(7，7')，所述掩模的窗口对应于模具(3，3')的凹部，c)对在步骤b)中获得的第一基板(5)进行热处理，以使经照射区域(7，7')晶化，d)提供在其表面上具有至少一个导电层(10)的第二基板(8)，e)将步骤c)中获得的第一基板(5)与第二基板(8)接合，使得导电层(10)位于第一基板(5)和第二基板(8)之间，f)去除第一基板(5)的经照射且晶化区域(7，7')以露出导电层(10)，从而形成至少一个腔室(12，12')，所述腔室的侧壁和所述腔室的由导电层(10)占据的底部形成所述模具(3，3')。本发明涉及微机械部件领域，所述微机械部件特别地用于钟表机芯。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 模具 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造模具(3，3')的方法，包括以下步骤：a)提供厚度至少等于模具(3、3')的高度的由光敏玻璃制成的第一基板(5)，b)用紫外线透过具有窗口的掩模照射所述第一基板(5)以形成经照射区域(7，7')，所述窗口对应于模具(3，3')的凹部，c)对在步骤b)中获得的第一基板(5)进行热处理，以使经照射区域(7，7')晶化，d)提供在其表面上具有至少一个导电层(10)的第二基板(8)，e)将在步骤c)中获得的第一基板(5)接合到第二基板(8)，使得导电层(10)位于第一基板(5)和第二基板(8)之间，f)去除第一基板(5)的经照射且晶化的区域(7，7')，以露出导电层(10)，从而形成至少一个腔室(12，12')，所述腔室(12，12')的侧壁和所述腔室(12，12')的被导电层(10)占据的底部形成所述模具(3，3')。
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