[发明专利]一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法有效
申请号: | 201811120636.4 | 申请日: | 2018-09-26 |
公开(公告)号: | CN109112474B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 吴水林;李慕;刘想梅 | 申请(专利权)人: | 湖北大学 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35 |
代理公司: | 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 | 代理人: | 胡清堂 |
地址: | 430062 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法,包括如下步骤:S1、对钛片表面进行碱热处理;S2、通过磁控溅射系统在钛片表面溅射二硫化钼涂层。其优点是:使用磁控溅射系统可在钛片表面形成均匀的二硫化钼图层;且磁控系统的工作气压、沉积时间、沉积速率等的设置,可有效控制二硫化钼图层的形貌及厚度;本发明设备投入少、实施难度小,制备方法简单易行,并且对环境并无太大影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 表面 磁控溅射 二硫化钼 生物 功能 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法,其特征在于:包括如下步骤S1、对钛片表面进行碱热处理;S2、通过磁控溅射系统在钛片表面溅射二硫化钼涂层。
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