[发明专利]一种用于LED蓝宝石衬底的固定装置有效
| 申请号: | 201811117022.0 | 申请日: | 2018-09-25 |
| 公开(公告)号: | CN109273397B | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
| 发明(设计)人: | 滕斌;段斌斌;丁钰明;冯利苗;尚吉龙;王子学;石天虎 | 申请(专利权)人: | 天通银厦新材料有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687;H01L33/00 |
| 代理公司: | 银川瑞海陈知识产权代理事务所(普通合伙) 64104 | 代理人: | 陈晓庆 |
| 地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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| 摘要: | 本发明涉及蓝宝石加工技术领域,尤其是一种用于LED蓝宝石衬底的固定装置,包括固定座,所述固定座的底部设置有支架,所述固定座的外壁中部开设有预留空腔,所述预留空腔中设置有安装板,所述安装板上穿插设有第一电动缸,所述第一电动缸中滑动设有第一动力杆,所述第一动力杆远离第一电动缸的一端固定连接安装座,所述安装座的上端面固定安装有吸盘,所述吸盘的外壁连接有气管,所述气管与外部气泵连通,所述固定座的上端面开设有安装槽,所述安装槽的外壁连接有弹簧,该用于LED蓝宝石衬底的固定装置实现了对蓝宝石衬底两面进行固定,对比现有的固定装置,具有固定牢靠,使用方便的优点。 | ||
| 搜索关键词: | 固定装置 固定座 衬底 电动缸 吸盘 蓝宝石 预留空腔 安装板 安装槽 动力杆 上端面 外壁 气管 加工技术领域 连接安装座 气泵连通 外壁中部 滑动 安装座 弹簧 支架 穿插 外部 | ||
【主权项】:
1.一种用于LED蓝宝石衬底的固定装置,包括固定座(1),所述固定座(1)的底部设置有支架(2),其特征在于,所述固定座(1)的外壁中部开设有预留空腔,所述预留空腔中设置有安装板(3),所述安装板(3)上穿插设有第一电动缸(5),所述第一电动缸(5)中滑动设有第一动力杆(4),所述第一动力杆(4)远离第一电动缸(5)的一端固定连接安装座(6),所述安装座(6)的上端面固定安装有吸盘(13),所述吸盘(13)的外壁连接有气管(7),所述气管(7)与外部气泵连通,所述固定座(1)的上端面开设有安装槽(8),所述安装槽(8)的外壁连接有弹簧(11),所述弹簧(11)远离安装槽(8)的一端与固定环(12)连接,所述固定环(12)的上端面放置有蓝宝石衬底(17),所述蓝宝石衬底(17)的外壁远离固定环(12)的一侧与吸盘(13)贴合,所述固定座(1)的内腔安装有第二电动缸(10),所述第二电动缸(10)中滑动设有第二动力杆(9),所述第二动力杆(9)远离第二电动缸(10)的一端连接有活动挡板(16),所述活动挡板(16)穿过安装槽(8)的内侧壁并与蓝宝石衬底(17)抵接,所述预留空腔中设置有PLC控制器和电源,所述电源通过导线与PLC控制器、第一电动缸(5)、第二电动缸(10)、外部气泵连接并构成完整回路。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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