[发明专利]微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种带有弹性薄膜的电容式力敏传感器件，属微机电器件技术领域。在它的弹性薄膜的中心部位设有可动的电容极板。此电容的另一极板——固定极板则通过支架固定在边框上，与可动极板保持微小极间距。本发明的技术要点是：事先对用以制造弹性膜片的基片进行精密外形加工，然后把可动极板锚定到膜片表面，接着把膜片与边框键合，再把不动极板封接到边框上。从而精密控制膜片厚度、均匀性、平整度及传感电容的微小极间距，并制造出新结构的微型化的高精度、高稳定性的便于批量生产的廉价的电容式力敏传感器。