[发明专利]一种高均匀性毛细管阵列气体吸附装置在审
| 申请号： | 201811074172.8 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109173576A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 毛新春;王小英;胡殷;金伟;张永彬;杨喜梅 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人： | 陈春华 |
| 地址： | 610200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高均匀性毛细管阵列气体吸附装置，包括气体室，气体室的底部中心处连通有竖直分布并与外部气路连接的进气管道，气体室的内底部螺纹连接有与进气管道相对应的蝶形塞，进气管道上设有采用VCR垫片中心激光打孔形成微米级别的VCR微孔，气体室的顶部开口处设有毛细管阵列安装槽，并且该毛细管阵列安装槽内竖直安装有封闭于气体室的顶部开口并可将气体室内气流形成高均匀性大面积气流向外输送的毛细管阵列。本发明可以在研究对象表面实现反应气体的高度均匀性吸附，且吸附过程对背底真空的影响可以忽略。同时在运行过程中对温度可以精确自动控制，避免不同反应气体切换时带来的交叉污染及毛细管堵塞问题。 | ||
| 搜索关键词： | 毛细管阵列 气体室 高均匀性 气体吸附装置 顶部开口 反应气体 进气管道 安装槽 大面积气流 底部中心处 高度均匀性 激光打孔 交叉污染 螺纹连接 室内气流 竖直安装 外部气路 微米级别 吸附过程 研究对象 运行过程 进气管 毛细管 垫片 蝶形 竖直 微孔 吸附 连通 堵塞 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种高均匀性毛细管阵列气体吸附装置，其特征在于：包括顶部开口底部封口且呈竖直状态的圆柱形气体室(7)，所述气体室(7)的底部中心处连通有竖直分布并与外部气路连接的进气管道(2)，所述气体室(7)的内底部螺纹连接有与所述进气管道(2)相对应的蝶形塞(11)，所述进气管道(2)上设有采用VCR垫片中心激光打孔形成微米级别的VCR微孔(13)，所述气体室(7)的顶部开口处设有毛细管阵列安装槽，并且该毛细管阵列安装槽内竖直安装有封闭于所述气体室(7)的顶部开口并可将所述气体室(7)内气流形成高均匀性大面积气流向外输送的毛细管阵列(9)。
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