[发明专利]一种电容式柔性压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201811066406.4 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109186817B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 曹汉元;王祖政 | 申请（专利权）人： | 深圳光韵达机电设备有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 江增俊 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西丽*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是一种电容式柔性压力传感器及其加工方法，上下基底相对应的表面等间隔分布有阵列化径向凸起构成的微结构，上下基底相对应的表面分别设有与其紧密贴合并具有相同微结构的导电层，上下导电层之间设置具有孔隙结构的电介质层。在压力作用下，上下导电层与电介质的有效接触面积急剧增大，而距离也相应减小，因此具有很高的灵敏度。本发明利用激光选区熔化技术制备表面微结构化的钢质模具，浇注柔性基底材料制成表面微结构化的基底，再通过化学气相沉积法和中介物转移技术将石墨烯薄膜作为导电层，并使导电层微结构化。本发明具有微结构参数可控、有效提高电容式柔性压力传感器性能和便于大规模生产的突出优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 柔性 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容式柔性压力传感器，包括柔性的上下基底和封装结构，其特征在于：所述上下基底相对应的表面等间隔分布有阵列化径向凸起构成的微结构，所述径向凸起截面为齿状，上下基底相对应的表面设有与其紧密贴合并具有相同微结构的导电层，所述上下导电层之间设置具有孔隙结构的电介质层，上下导电层阵列化径向凸起与电介质层相接合，上下基底导电层的一端设有分别对应于电介质层相对一端的银电极及其引线。
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