[发明专利]准切变模式多层共烧压电致动器及其多层共烧制备方法

摘要

本发明公布了一种准切变模式多层共烧压电致动器及制备方法，包括排成2×2矩阵的四个驱动单元；驱动单元均为含内电极的多层压电陶瓷结构，均沿厚度方向交替正负极化；各驱动单元施加的电场方向均和极化方向平行或反平行；驱动单元中含内电极的多层压电陶瓷片在电路上为并联连接；按电极划分为四个d31模式驱动单元或四个d33模式驱动单元；底部与固定座固定连接，上表面为位移输出端；包括：d36、d35和d34准切变模式多层共烧压电致动器，可应用于精密制造、加工、驱动等精密定位相关领域。本发明方法实现器件小型化、精密化、低成本批量化制备，能够提升器件功能的温度与结构稳定性。

主权项

1.一种准切变模式多层共烧压电致动器，为长方体多层结构，包括排成2×2矩阵的四个驱动单元；每个驱动单元均为长方体；每个驱动单元内部也由小的长方体多层结构块组成；每个小长方体多层结构块分别具有设定的极化方向、多层结构排布方向和电压施加方向；每个驱动单元均为含内电极的多层压电陶瓷结构，且各驱动单元中的压电陶瓷片均沿厚度方向交替正负极化；各驱动单元所施加的电场方向均和陶瓷片的极化方向是平行或反平行；每个驱动单元中含内电极的多层压电陶瓷片在电路上为并联连接；多层共烧压电致动器的底部与一个固定座B固定连接，上表面为位移输出端；沿对角线的一对驱动单元施加相同极性的工作电压，而对另一对角线的两个驱动单元则施加极性相反的工作电压；通过四个驱动单元沿两个对角线方向的协同伸缩驱动，使得位移输出端产生所需要的“准切变”运动，由此成为准切变模式多层共烧压电致动器。