[发明专利]钨镍铁合金抛光液及合金表面抛光、金相制备方法有效
| 申请号： | 201811053572.0 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109269867B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 康仁科;焦振华;郭江;董志刚 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;C23F3/06 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于抛光加工和材料表面结构测定技术领域，提供钨镍铁合金抛光液及合金表面抛光、金相制备方法。所述的抛光液包括纳米磨粒、氧化剂、粘度调节剂、pH调节剂和去离子水，抛光液的pH值范围为pH 2.5～pH 3.5、pH 6.5～pH 7.5或pH 9.5～pH 10.5。本发明采用自制的抛光液进行钨镍铁合金的化学机械抛光，根据抛光条件选择不同的抛光液参数可以得到不同的抛光加工表面，获得的最优表面粗糙度Ra低于5nm，能够满足钨合金纳米级表面粗糙度的加工需求，同时采用该抛光液抛光后的工件具有超光滑表面，可直接用于金相观测，且金相组织结构清晰完整。 | ||
| 搜索关键词： | 铁合金 抛光 合金 表面 金相 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钨镍铁合金化学机械抛光液，其特征在于，所述的抛光液包括纳米磨粒、氧化剂、粘度调节剂、pH调节剂和去离子水；所述纳米磨粒的含量为抛光液的5.0％‑30wt.％；所述氧化剂的含量为抛光液的0.01％‑2.0wt.％；所述粘度调节剂的量根据实际情况调节，最终抛光液的运动粘度值达到15～45mm2/s范围；所述的钨镍铁合金化学机械抛光液的pH值为pH 2.5～pH 3.5、pH 6.5～pH 7.5或pH 9.5～pH 10.5，具体pH值根据实际工序确定。
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