[发明专利]基于悬臂梁应变的F-P微位移测量系统线性度比对装置和方法有效
| 申请号： | 201811050701.0 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN108955543B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 沈小燕;蓝旭辉;刘源;李东升;尹建龙 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于悬臂梁应变测量的F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对装置与方法。包括面阵器件、F‑P标准具干涉测量系统、应力加载系统、矩形等截面梁、悬臂梁固定结构和支架。支架一端固定在光学平台上，F‑P标准具干涉测量系统放置在其上方；面阵器件固定在矩形等截面梁上，矩形等截面梁的一端用悬臂梁固定结构固定在光学隔振平台上；通过应力加载系统改变应力F的大小，用F‑P标准具干涉测量系统和悬臂梁挠度计算公式计算相应的位移量，通过对二者线性度曲线的比较完成F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对。本发明具有测量运算简单，测量精细，准确度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 悬臂梁 应变 位移 测量 系统 线性 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.基于悬臂梁应变测量的F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对装置，包括F‑P标准具干涉测量系统（6）、面阵器件（7）、 支架（8）、矩形等截面梁（9）、悬臂梁固定结构（14）和应力加载系统（15）。其特征在于：支架（8）一端固定在光学隔振平台（16）上，另一端用于放置F‑P标准具干涉测量系统（6），面阵器件（7）布置在F‑P标准具干涉测量系统（6）前且与F‑P标准具干涉测量系统（6）处于同一光轴中用于成像，悬臂梁固定结构（14）将矩形等截面梁（9）以悬臂梁结构固定，应力加载系统（15）通过对应力F的改变从而改变矩形等截面梁（9）端面的形变大小。
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