[发明专利]一种基于铌酸锂晶片的激光辅助氧化锌生长的装置及方法有效

专利信息
申请号: 201811049556.4 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN109136881B 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 阎文博;梁超;任满意;李菲菲;昝知韬 申请(专利权)人: 河北工业大学
主分类号: C23C16/40 分类号: C23C16/40;C23C16/48;C23C16/52
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300401 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明提供一种基于铌酸锂晶片的激光辅助氧化锌生长的装置及方法,该装置包括激光器1、凸透镜2、铜质容器3、电阻加热棒4、温度控制器5、聚四氟乙烯容器6、热电偶7、铌酸锂晶片8。本发明装置主要由聚焦光路、聚四氟乙烯容器、温控系统三部分组成,利用聚焦激光照射铌酸锂晶片产生光生伏打效应,同时结合化学合成的方法,实现铌酸锂晶片上特定区域的氧化锌生长。此方法不仅缩短了氧化锌生长的时间,而且可以精确调控生长位置,并且通过控制激光的功率得到不同直径大小的棒状氧化锌。
搜索关键词: 一种 基于 铌酸锂 晶片 激光 辅助 氧化锌 生长 装置 方法
【主权项】:
1.一种基于铌酸锂晶片的激光辅助氧化锌生长的装置,其特征在于:通过激光器1、凸透镜2、铌酸锂晶片8形成聚焦光路,通过铜质容器3、电阻加热棒4、温度控制器5、热电偶7组成温控系统,实现聚四氟乙烯容器6内溶液的控温,通过聚焦光路、温控系统、聚四氟乙烯容器三部分组合实现铌酸锂晶片特定区域的氧化锌生长。
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