[发明专利]基于PSD的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法有效
| 申请号： | 201811048767.6 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109000567B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 沈小燕;蓝旭辉;李东升;禹静;刘雨航 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于PSD的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法。本发明中支架一端固定在光学平台上，标准圆锥光束系统放置在其上方；面阵器件布置在标准圆锥光束系统前且处于同一光轴中用于干涉成像；激光器、扩束镜、聚焦透镜处在同一光轴中，激光光束在悬臂梁上发生反射后由PSD接收，应力加载系统改变应力F的大小。用标准圆锥光束系统和PSD计算相应的位移量，通过对二者线性度曲线的比较完成F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对。本发明具有检测精度高，可以同步完成两个方法的测量，适用于高准确度微位移测量系统的线性度比对。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 psd 法布里珀罗 标准 位移 测量 系统 线性 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.基于PSD的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置，包括F‑P标准具干涉测量系统（5）、面阵器件（6）、 支架（7）、激光器（8）、扩束镜（9）、聚焦透镜（10）、光电位置传感器PSD（11）、悬臂梁（12）、和应力加载系统（13）。其特征在于：F‑P标准具干涉测量系统（5）放置在支架（7）上方，面阵器件（6）布置在F‑P标准具干涉测量系统（5）前且与F‑P标准具干涉测量系统（5）处于同一光轴中用于成像，激光器（8）、扩束镜（9）、聚焦透镜（10）处在同一光轴中，激光光束在悬臂梁（12）上发生反射后入射到光电位置传感器PSD（11）的光敏表面上，应力加载系统（13）通过对应力F的改变从而改变悬臂梁（12）的应变大小。
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