[发明专利]一种气体分配盘的内漏监测系统及方法在审
| 申请号： | 201811041056.6 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN110890259A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体分配盘的内漏监测系统及方法，该内漏监测系统包括，喷头，所述喷头包括相互独立的多个待监测区；分流器，所述分流器的入口与工艺主气相连，所述分流器包括多个出口；多个输气管道，每个所述出口分别通过每条所述输气管道与每个所述待监测区相连通；多个压力监测装置，每个所述压力监测装置分别与每个所述待监测区连通以监测每个所述待监测区的压力。利用本发明，通过在机台的气体分配盘的分流器的气体出口处加装压力监测装置，可实时监测生产过程中机台的气体分配盘内部不同独立待监测区中的压力，即时根据待监测区中的压力波动发现气体分配的内漏，进行维护，降低产品废率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 分配 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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