[发明专利]一种石英管内壁镀膜的方法

摘要

本发明公开了一种石英管内壁镀膜的方法，它包括石英管内壁清洁化、去离子化、氨基硅烷基化、有机化和高温镀碳成膜五大步骤，通过将石英管内壁氨基硅烷基化，使石英管内表面改性，从亲水性改为疏水性，提高其和有机试剂的亲和性能，从而使石英管内壁涂覆上有机试剂，有机试剂在高温下脱水碳化，在石英管内壁形成一层原位碳膜，然后有机气体在高温下碳化，提供移动碳源，持续成膜，通过控制镀膜温度和时间控制成膜的质量和厚度，从而完成石英管内壁的镀膜。本发明方法制备工艺简单、易操作，对设备的要求低，制备的碳膜层能满足石英管对膜层性能的需求，成膜质量好，镀膜加工比较容易，且本发明中使用的试剂数量较少，可以有效控制镀膜的成本。

主权项

1.一种石英管内壁镀膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)石英管内壁清洁化：将石英管浸泡在低浓度酸溶液中10～30s，然后取出用纯水冲洗干净；(2)石英管内壁去离子化：将步骤(1)处理过的石英管用去离子水冲洗其内壁两次以上；(3)石英管内壁氨基硅烷基化：在步骤(2)处理过的石英管中注满硅烷偶联剂溶液，停留10～15min后摇晃倒出实现石英管内壁硅烷偶联剂的涂覆，然后将石英管置于烘箱中高温烘干；(4)石英管内壁有机化：在步骤(3)处理过的石英管中注满有机试剂溶液，静置6～8h后倒出；所述有机试剂溶液选自无水乙醇、聚乙二醇和甲醛；(5)高温镀碳成膜：将步骤(4)处理过的石英管放入管式炉中，将炉体系统抽真空，用惰性气体置换掉石英管中空气后，再向石英管中通入有机气体10～15min，管式炉中温度加热到1000～1200℃，保温3h，石英管在管式炉中随炉冷却至常温即完成镀膜。