[发明专利]用于以激光熔化封闭微机械装置的方法和微机械装置在审
申请号: | 201811030172.8 | 申请日: | 2018-09-05 |
公开(公告)号: | CN109422241A | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | J·莱茵穆特;M·兰巴赫 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种用于借助激光熔化封闭微机械装置的方法,具有以下步骤:提供具有进入通道的微机械装置,该进入通道在外开口处具有凸缘;借助对所述凸缘进行激光辐射将进入通道的外开口封闭,其中,凸缘至少部分熔化并且外开口通过由凸缘的材料构成的熔化物封闭。还提出具有激光熔化封闭部的机械装置,微机械装置具有进入通道,该进入通道在外开口上具有凸缘,进入通道的外开口通过由凸缘材料构成的熔化封闭部封闭。 | ||
搜索关键词: | 微机械装置 外开口 凸缘 封闭 激光熔化 熔化 机械装置 激光辐射 凸缘材料 熔化物 | ||
【主权项】:
1.一种用于封闭微机械装置的方法,该封闭借助激光熔化来进行,该方法具有以下步骤:(A)提供具有进入通道(20)的微机械装置,该进入通道在外开口(30)处具有凸缘(40),(B)借助对所述凸缘(40)进行激光辐射将所述进入通道(20)的外开口(30)封闭,其中,将所述凸缘(40)至少部分熔化并且将所述外开口(30)通过由所述凸缘的材料构成的熔化物封闭。
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