[发明专利]用于以激光熔化封闭微机械装置的方法和微机械装置在审

专利信息
申请号: 201811030172.8 申请日: 2018-09-05
公开(公告)号: CN109422241A 公开(公告)日: 2019-03-05
发明(设计)人: J·莱茵穆特;M·兰巴赫 申请(专利权)人: 罗伯特·博世有限公司
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国斯*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种用于借助激光熔化封闭微机械装置的方法,具有以下步骤:提供具有进入通道的微机械装置,该进入通道在外开口处具有凸缘;借助对所述凸缘进行激光辐射将进入通道的外开口封闭,其中,凸缘至少部分熔化并且外开口通过由凸缘的材料构成的熔化物封闭。还提出具有激光熔化封闭部的机械装置,微机械装置具有进入通道,该进入通道在外开口上具有凸缘,进入通道的外开口通过由凸缘材料构成的熔化封闭部封闭。
搜索关键词: 微机械装置 外开口 凸缘 封闭 激光熔化 熔化 机械装置 激光辐射 凸缘材料 熔化物
【主权项】:
1.一种用于封闭微机械装置的方法,该封闭借助激光熔化来进行,该方法具有以下步骤:(A)提供具有进入通道(20)的微机械装置,该进入通道在外开口(30)处具有凸缘(40),(B)借助对所述凸缘(40)进行激光辐射将所述进入通道(20)的外开口(30)封闭,其中,将所述凸缘(40)至少部分熔化并且将所述外开口(30)通过由所述凸缘的材料构成的熔化物封闭。
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