[发明专利]差频主动扫描式光栅位移传感器及测量方法有效
| 申请号： | 201811027296.0 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109307475B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 叶国永;刘红忠;武泽泽;史永胜;尹磊 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 61215 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 段俊涛 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差频主动扫描式光栅位移传感器及测量方法，实现了以栅距差为基准的光栅测量，解决了宏微跨尺度测量中的高精度测量难题。本发明的具体实现方法为：将被测位移L分为L | ||
| 搜索关键词： | 读数单元 测量 微动 栅距 光栅位移传感器 光栅测量 主动扫描 相位差 主光栅 测量分辨率 高精度测量 信号相位差 元件分辨率 测量基准 单元信号 二次移动 光栅读数 最终位置 跨尺度 差频 量程 记录 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种差频主动扫描式位移测量方法，其特征在于，在非运动件(1)上放置栅距为P
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