[发明专利]杂散磁场鲁棒的磁场传感器和系统

摘要

一种磁场传感器包括形成在基板上的磁感元件和屏蔽结构。所述屏蔽结构完全环绕所述磁感元件以用于抑制沿着第一轴线和第二轴线的杂散磁场，所述第一轴线和所述第二轴线均与所述基板的表面平行并且彼此垂直。磁场沿着与所述基板的所述表面垂直的第三轴线朝向，并且所述磁感元件被配置成感测沿着所述第一轴线的磁场。在所述基板上靠近所述磁感元件形成的磁场偏转元件将所述磁场从所述第三轴线重定向到所述第一轴线中，以被所述磁感元件感测为测量磁场。各自被屏蔽结构完全环绕的至少两个磁场传感器形成用于确定磁场梯度的梯度单元。

主权项

1.一种磁场传感器，其特征在于，包括：磁感元件，其形成在基板上；以及屏蔽结构，其形成在所述基板上并且完全环绕所述磁感元件，所述屏蔽结构被配置成抑制沿着第一轴线和第二轴线的杂散磁场，其中所述第一轴线和所述第二轴线与所述基板的表面平行并且彼此垂直。