[发明专利]一种化学机械抛光垫及其平坦化基材的方法有效
| 申请号： | 201811011968.9 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109015342B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 朱顺全;罗乙杰;刘敏;张季平;车丽媛 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎汇微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李梅香;张颖玲 |
| 地址： | 430057 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学机械抛光垫及用该抛光垫平坦化基材的方法。所述抛光垫包括聚氨酯抛光层，其特征在于，所述聚氨酯抛光层是原料组合的反应产物，所述原料组合包括异氰酸酯封端的预聚体、中空微球聚合物和固化剂组合物，其中，所述固化剂组合物包括：端仲氨基聚醚固化剂和芳香族双官能固化剂，且所述端仲氨基聚醚固化剂与所述芳香族双官能固化剂的质量比为1:4～4:1；和所述异氰酸酯封端的预聚体含有5.5～9.5wt％未反应的NCO基团。本发明的抛光垫具有良好的均一性和改进的去除速率与缺陷率的良好平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 及其 平坦 基材 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光垫，所述抛光垫包括聚氨酯抛光层，其特征在于，所述聚氨酯抛光层是原料组合的反应产物，所述原料组合包括异氰酸酯封端的预聚体、中空微球聚合物和固化剂组合物的，其中，所述固化剂组合物包括：端仲氨基聚醚固化剂和芳香族双官能固化剂，且所述端仲氨基聚醚固化剂与所述芳香族双官能固化剂的质量比为1:4～4:1；和所述异氰酸酯封端的预聚体含有5.5～9.5wt％未反应的NCO基团。
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