[发明专利]难熔稀有金属环形靶材的制备方法与装置在审
| 申请号： | 201811003610.1 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108796456A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 郭校亮;张磊;陈良杰;张建帅 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22B9/22 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种难熔稀有金属环形靶材的制备方法与装置，属于金属靶材的制备技术领域。所述装置包括炉体、真空系统、充气阀、电子枪和水冷模具，所述炉体分为炉室和电子枪室，真空系统分别与炉室和电子枪室相连，充气阀分别与炉室和电子枪室相连，所述水冷模具设于炉室内部，电子枪设于水冷模具上方，所述水冷模具为设有若干个环形水冷槽的模具。本发明所述的技术方案可简化难熔稀有金属靶材的制备工艺，降低后续加工难度，提高产品的出成效率和纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 水冷 难熔稀有金属 电子枪室 炉室 环形靶材 真空系统 充气阀 电子枪 炉体 制备 制备技术领域 后续加工 金属靶材 制备工艺 环形水 室内部 靶材 冷槽 | ||
【主权项】：
1.一种难熔稀有金属环形靶材的制备装置，其特征在于，包括炉体(5)、真空系统、充气阀(12)、电子枪(4)和水冷模具(9)，所述炉体(5)分为炉室和电子枪室，真空系统分别与炉室和电子枪室相连，充气阀(12)分别与炉室和电子枪室相连，所述水冷模具(9)设于炉室内部，电子枪(4)设于水冷模具(9)上方，所述水冷模具(9)为设有若干个环形水冷槽(8)的模具。
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