[发明专利]物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体有效
| 申请号： | 201810996247.1 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109425755B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P3/44 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体，抗冲击性优异且提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部以及与连结部连接的第一、第二质量部；第一、第二固定电极，设置于支承基板上，与第一、第二质量部相对；以及突起，设置于设有第一、第二固定电极的区域，从支承基板朝向第一、第二质量部突出，在交叉方向上，当将从连结部与第一、第二质量部的连接位置到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L，且将从突起到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1为0.18L以上0.88L以下。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 复合 传感器 惯性 测量 单元 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：可动体，包括旋转轴、与所述旋转轴连接并沿与所述旋转轴交叉的交叉方向设置的连结部以及与所述连结部连接的质量部；检测电极，设置于支承基板上，与所述质量部相对；以及突起，设置于设有所述检测电极的区域，从所述支承基板朝向所述质量部突出，在所述交叉方向上，当将从所述连结部与所述质量部的连接位置到所述质量部的与所述旋转轴相反一侧的端部的距离设为L，且将从所述突起到所述质量部的与所述旋转轴相反一侧的端部的距离设为L1时，L1为0.18L以上且0.88L以下。
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