[发明专利]一种多层板层间偏移检测方法及检测系统有效
| 申请号： | 201810988530.X | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN108925066B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 邝美娟;付凤奇;张霞;王俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市景旺电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/46 | 分类号： | H05K3/46 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及印刷线路板制造技术领域，提供一种多层板层间偏移检测方法及检测系统，多层板层间偏移检测方法包括设计层间偏移系统，选取多层线路板中一层作为基准层，多层线路板其他层作为测试层，在设有基准层的基准层工作板的预设位置设置基准图形，在设有测试层的测试层工作板的预设位置设置测试图形，各测试层的测试图形之间相互错开；制作层间偏移系统，制作多层线路板中的基准层和测试层，并在基准层工作板上制作基准图形，在测试层工作板上制作测试图形；检测层间偏移量，获取制作完成的多层线路板中基准图形的位置，测量各测试层上的测试图形与基准图形的距离，并将该距离与设计距离相比较，获得各测试层的偏移量；具有更高的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 测试层 基准层 多层线路板 测试图形 基准图形 工作板 多层板层 偏移检测 检测系统 偏移系统 预设位置 制作 偏移量 测量 印刷线路板 检测层 设计层 制作层 错开 制造 | ||
【主权项】：
1.一种多层板层间偏移检测方法，其特征在于，包括：/n设计层间偏移系统，选取多层线路板中的一层作为基准层，所述多层线路板的其他层作为测试层，在设有所述基准层的基准层工作板的预设位置设置基准图形，在设有所述测试层的测试层工作板的预设位置设置测试图形，各所述测试层的测试图形之间相互错开；/n制作层间偏移系统，制作所述多层线路板中的基准层和测试层，并在所述基准层工作板上制作所述基准图形，在所述测试层工作板上制作所述测试图形；/n检测层间偏移量，获取制作完成的所述多层线路板中基准图形的位置，测量各所述测试层上的测试图形与所述基准图形的距离，并将该距离与设计距离相比较，获得各所述测试层的偏移量；/n所述检测层间偏移量步骤包括：/n采用X射线相机照射所述基准图形的矩形边框，获取所述边框的基准点为原点，所述边框长度方向的中心线为Y轴，所述边框宽度方向的中心线为X轴；/n采用X射线相机照射所述测试图形，获取所述测试图形的中心点；/n获取所述中心点与所述X轴的距离，以及所述中心点与所述Y轴的距离；/n将所述中心点与所述X轴的距离以及所述中心点与所述Y轴的距离与设计距离相比较，获取所述测试图形在X方向和Y方向的偏移量。/n
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