[发明专利]一种多自由度光学调装装置及调装方法有效
申请号: | 201810983769.8 | 申请日: | 2018-08-27 |
公开(公告)号: | CN108983382B | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 骆颖欣;段会宗;李祝;薛超;叶贤基;梅健伟;罗俊;覃璇 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B27/62 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 黄启文 |
地址: | 510275 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种多自由度光学调装装置及调装方法,该调装装置包括固定台、自由度分解机构,所述自由度分解机构设置在固定台上;所述自由度分解机构包括玻璃底座、第一玻璃元件、第二玻璃元件;所述第一玻璃元件垂直设置在玻璃底座的一面上,且可水平方向平移和角度转动;所述第二玻璃元件垂直设置在第一玻璃元件的另一面上,且可上下方向平移和俯仰角度转动连接设置,第二玻璃元件与玻璃底座平行;所述待调光学元件设置在第二玻璃元件上表面;所述玻璃底座下表面与固定台连接。本发明可对待调光学元件同时多自由度调节、操作简单、准确性高的特点,本发明适用于单片式高精度集成光路精密调装。 | ||
搜索关键词: | 一种 自由度 光学 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种多自由度光学调装装置,其特征在于:包括固定台(1)、自由度分解机构,所述自由度分解机构设置在固定台(1)上;所述自由度分解机构包括玻璃底座(2)、第一玻璃元件(5)、第二玻璃元件(6);所述第一玻璃元件(5)垂直设置在玻璃底座(2)的上表面,且可水平方向平移或转动;所述第二玻璃元件(6)垂直设置在第一玻璃元件(5)的另一面上,且可上下方向平移或俯仰角度转动连接设置,第二玻璃元件(6)与玻璃底座(2)平行;所述待调光学元件(7)设置在第二玻璃元件(6)上;所述玻璃底座(2)下表面与固定台(1)连接。
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