[发明专利]用于ESD防护的高维持电流SCR器件

摘要

本发明提供一种用于ESD防护的高维持电流SCR器件，包括：P型衬底、第一N型外延层、第一PWELL区、第一P+接触区、第一N+接触区、第二PWELL区、第二P+接触区、第三N+接触区；位于第一N型外延层上方且不与第一PWELL区、第二PWELL区相交的第二N+接触区；第一N+接触区与第一P+接触区通过金属短接形成金属阴极；第二P+接触区与第二N+接触区、第三N+接触区通过金属短接形成阳极。本发明可以通过调整第二PWELL区的浓度和长度来调节维持电流，从而避免器件发生闩锁，并使器件IV曲线呈现出多次snapback的特性，提高器件在ESD脉冲电流下的鲁棒性。

主权项

1.一种用于ESD防护的高维持电流SCR器件，其特征在于包括：P型衬底(00)、位于P型衬底(00)上方的第一N型外延层(01)、位于第一N型外延层(01)内部上方左侧的第一PWELL区(201)、位于第一PWELL区(201)内部上方的第一P+接触区(21)、位于第一PWELL区(201)内部上方的第一N+接触区(11)；其中，第一P+接触区(21)位于第一N+接触区(11)左侧；位于第一N型外延层(01)内部上方右侧的第二PWELL区(202)、位于第二PWELL区(202)内部上方的第二P+接触区(22)、位于第二PWELL区(202)内部上方的第三N+接触区(13)；其中，第三N+接触区(13)位于第二P+接触区(22)左侧；位于第一N型外延层上方且不与第一PWELL区、第二PWELL区相接触的第二N+接触区(12)；第一N+接触区(11)与第一P+接触区(21)通过金属短接形成金属阴极(31)；第二P+接触区(22)与第二N+接触区(12)、第三N+接触区(13)通过金属短接形成阳极(32)。