[发明专利]一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度测量方法有效
| 申请号： | 201810962302.5 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109238600B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 赵美蓉;王志一;郑叶龙;黄银国 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01M5/00 | 分类号： | G01M5/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘玥 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度测量方法：搭建实验平台后，控制纳米微动台带动待测微悬臂梁进行竖直方向上的周期性等间距步进运动，使用电容电桥实时测量待测微悬臂梁与平板电极之间的电容变化，并对实验数据进行数学处理；使用直流电源在待测微悬臂梁与平板电极之间加载周期性等间距步进电压，使用激光干涉仪实时测量待测微悬臂梁自由端的位移变化，并对实验数据进行数学处理和拟合，得到待测微悬臂梁的刚度测量值。本发明以胡克定律为基础，以静电力为载荷，应用纳米微动台、电容电桥、稳压电源等，搭建微悬臂梁刚度测量平台，建立微悬臂梁刚度与极间电压和自由端位移之间的数学关系，实现悬臂梁刚度的非接触式测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静电力 接触 式微 悬臂梁 刚度 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于静电力的非接触式微悬臂梁刚度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，利用待测微悬臂梁、平板电极、纳米微动台、激光干涉仪、精密位移台搭建实验平台；步骤2，控制纳米微动台带动待测微悬臂梁进行竖直方向上的周期性等间距步进运动，使用电容电桥实时测量待测微悬臂梁与平板电极之间的电容变化，并对实验数据进行数学处理；步骤3，使用直流电源在待测微悬臂梁与平板电极之间加载周期性等间距步进电压，使用激光干涉仪实时测量待测微悬臂梁自由端的位移变化，并对实验数据进行数学处理和拟合，得到待测微悬臂梁的刚度测量值。
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