[发明专利]一种制备柔性可延展多级结构互连线的方法及设备

摘要

本发明公开了一种制备柔性可延展多级结构互连线的方法及设备，包括机架，机架上设有承载平台；喷印模块，喷印模块通过水平横梁设置在承载平台上方，且其设有用于喷印的喷印机构，用于将喷印溶液喷印到基板上形成喷印图案；喷印平台机构，其可X向以及Y向运动设置在承载平台上；拉伸平台，设置在所述喷印平台机构上，其包括呈矩形分布的四个滑轨，在滑轨内设置若干与滑轨构成滑移配合的气缸，四个滑轨中心设置柔性可延展性基板，每个拉杆采用独立气缸进行控制，利用拉杆伸长以及气缸滑移来实现对柔性可延展性基板不同形状的变形并进行固定，从而实现在柔性可延展性基板上制备柔性电子的可延展性多级结构互连线。

主权项

1.一种制备柔性的可延展多级结构互连线的方法，其特征在于：其步骤如下：1)将柔性可延展性基板平铺在底板上，分别沿柔性可延展性基板四周进行n1、n2、n3和n4等分，并满足n1≥2,n2≥2，n3≥2，n4≥2，并且n1、n2、n3和n4均为整数；2)柔性可延展性基板四周分别在n1+1、n2+1、n3+1和n4+1等分点处使柔性可延展性基板所在的平面内向四个方向以不同的位移量进行移动；3)使柔性可延展性基板四周在n1+1、n2+1、n3+1和n4+1等分点处沿柔性可延展性基板四个方向的伸长量分别为ΔLij，柔性可延展性基板四周在n1+1、n2+1、n3+1和n4+1等分点处的长度分别为Lij＝Li0+ΔLij，其预应变εij＝ΔLij/Lij，并满足i＝1,2,3,4，当i＝1时，j＝1,2,…,n1+1，当i＝2时，j＝1,2,…,n2+1，当i＝3时，j＝1,2,…,n3+1，当i＝4时，j＝1,2,…,n4+1；4)将沿四周伸长的柔性可延展性基板固定在电流体动力学喷印设备的喷印平台上，移动喷印平台，并将喷印模块的喷头定位到柔性可延展性基板上的两个电极的其中一个电极，作为喷印路径的起始位置；5)根据预喷印的柔性可延展多级结构互连线的形状，在柔性可延展性基板上的两个电极之间设置喷印路径；6)以具有可延展性的导电材料为喷印溶液，根据预喷印的柔性可延展多级结构互连线的宽度，设定电流体动力学喷印的工艺参数；7)电流体动力学喷印设备根据设定的工艺参数，从喷印路径的起始位置开始，沿着所设置的喷印路径，在固定的产生伸长的柔性可延展性基板上进行喷印，形成喷印轨迹图案；8)完成喷印后，然后使柔性可延展性基板四周在n1+1、n2+1、n3+1和n4+1等分点处沿柔性可延展性基板四个方向的长度恢复到原长Li0，其中i＝1,2,3,4，此时，在柔性可延展性基板上的两个电极之间的喷印轨迹图案沿着四周产生收缩，喷印轨迹图案向四周方向产生偏转失稳，从而得到柔性电子的柔性可延展多级结构互连线。