[发明专利]卷型紫外纳米压印装置在审
| 申请号: | 201810954896.5 | 申请日: | 2018-08-21 |
| 公开(公告)号: | CN109116678A | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
| 发明(设计)人: | 彭智婷;吴天准;杨志裕 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 王宇聪 |
| 地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明属于表界面微结构制备设备技术领域,尤其涉及一种卷型紫外纳米压印装置,包括传输装置、涂布装置、辊压装置、加热装置和紫外固化装置,传输装置包括放卷辊、收卷辊和和若干导向辊并用于按设定的传输路线传输衬底薄膜,涂布装置用于将紫外固化胶涂布在衬底薄膜上,辊压装置包括压印辊和压力调节机构,压印辊的外表面包裹有具有纳米结构图案的软模具,压力调节机构用于控制压印辊将纳米结构图案压印至紫外固化胶上,加热装置用于加速涂布装置涂布后的紫外固化胶的流平,紫外固化装置用于固化辊压装置压印的紫外固化胶。本发明能够实现连续批量化制备表界面微结构,并且具有生产效率低、制造成本高和产品质量高的优点。 | ||
| 搜索关键词: | 紫外固化胶 辊压装置 压印辊 纳米结构图案 压力调节机构 紫外固化装置 紫外纳米压印 界面微结构 传输装置 加热装置 涂布装置 衬底 压印 薄膜 涂布装置涂布 传输路线 生产效率 制备设备 制造成本 导向辊 放卷辊 批量化 软模具 收卷辊 流平 制备 固化 传输 | ||
【主权项】:
1.一种卷型紫外纳米压印装置,其特征在于:包括:传输装置,包括放卷辊、收卷辊和和若干导向辊,用于按设定的传输路线传输衬底薄膜;涂布装置,设于所述放卷辊之后并用于将紫外固化胶涂布在所述衬底薄膜上;辊压装置,设于所述涂布装置之后并包括压印辊和压力调节机构,所述压印辊的外表面包裹有软模具,所述软模具上具有纳米结构图案,所述压力调节机构与所述压印辊连接并用于控制所述压印辊以将所述纳米结构图案压印至涂布在所述衬底薄膜上的所述紫外固化胶上;加热装置,设于所述涂布装置之后并用于加速所述涂布装置涂布后的所述紫外固化胶的流平;紫外固化装置,用于固化所述辊压装置压印的所述紫外固化胶。
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