[发明专利]一维快速控制反射镜

摘要

本发明公开了一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片、外框架、位移放大机构和叠堆型压电陶瓷执行器，外框架为一体成型结构，包括横向底板、两块纵向侧板、横梁和两个镜架，镜架通过第一柔性铰链与纵向侧板连接，镜架通过第一柔性连接件与横梁的端部连接，位移放大机构与横梁、横向底板固定连接，反射镜片的端部固定连接在镜架上；反射镜还包括电容式微位移传感器，电容式微位移传感器包括反映反射镜片转动偏摆的动极板和第一、第二定极板组件，第一定极板组件与第二定极板组件相互平行的固定在传感器支架上，且分别位于所述旋转轴线下方两侧，传感器支架固定连接在两块纵向侧板的上安装面上。该反射镜能提高抗振动和抗冲击能力。

主权项

1.一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片（1）、外框架、位移放大机构（4）和预压紧在位移放大机构（4）内的堆叠型压电陶瓷执行器（5），所述外框架为一体成型结构，包括横向底板（8）、设在横向底板（8）两侧的相互平行的两块纵向侧板（12）、与横向底板（8）平行且横贯两块纵向侧板（12）的横梁（9）和分别位于两块纵向侧板上端中部的两个镜架（6），镜架（6）通过第一柔性铰链（10）与纵向侧板（12）连接，镜架（6）通过第一柔性连接件（11）与横梁（9）的端部连接，所述位移放大机构（4）位于横向底板（8）与横梁（9）之间，且上部与横梁（9）固定连接、下部与横向底板（8）固定连接，所述反射镜片（1）的端部固定连接在镜架（6）上，镜架（6）与反射镜片（1）能绕旋转轴线转动偏摆；其特征在于：所述反射镜还包括电容式微位移传感器，所述电容式微位移传感器包括反映反射镜片（1）转动偏摆的动极板和位于反射镜片（1）下方的第一、第二定极板组件（2、3），第一定极板组件（2）与第二定极板组件（3）相互平行的固定在传感器支架（7）上，且分别位于所述旋转轴线下方两侧，第一定极板组件（2）的第一定极板、第二定极板组件（3）的第二定极板都与所述动极板正对，传感器支架（7）固定连接在两块纵向侧板（12）的上安装面上。