[发明专利]一种量子传输型高性能薄膜感知材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201810922267.4 | 申请日： | 2018-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN108996465A | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 周剑峰;赵明国;宋翔宇;韩民 | 申请（专利权）人： | 苏州纽劢特新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 215400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及新材料技术领域，且公开了一种量子传输型高性能薄膜感知材料，包括以下重量份数配比的原料：叉指电极20‑50克、单晶硅片50‑90克、SiO2绝缘层10‑30克、金属薄膜20‑40克、Pd纳米粒子50‑100克、PMMA保护层60‑80克、Cr纳米粒子50‑100克、Ni纳米粒子50‑100克、AI纳米粒子50‑100克、PET塑料100‑120克和Pd‑Ni合金纳米粒子50‑100克。该量子传输型高性能薄膜感知材料的制备方法，量子电导纳米薄膜感知材料具有极高的灵敏度，如量子电导纳米应变薄膜感知材料的灵敏度可比常规的金属应变片高几十到上百倍，纳米粒子点阵的等效电阻在M欧以上，远远大于金属箔片的电阻，因此可以实现低功耗(纳W到微W量级)与微型化，易于与电学测量单元集成于一个芯片上，与MEMS高度兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米粒子 感知材料 高性能薄膜 量子传输 灵敏度 电导 制备 量子 新材料技术领域 重量份数配比 金属应变片 微型化 叉指电极 单晶硅片 单元集成 等效电阻 电学测量 金属薄膜 金属箔片 纳米薄膜 应变薄膜 点阵 保护层 常规的 低功耗 电阻 兼容 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种量子传输型高性能薄膜感知材料，其特征在于，包括以下重量份数配比的原料：叉指电极20‑50克、单晶硅片50‑90克、SiO2绝缘层10‑30克、金属薄膜20‑40克、Pd纳米粒子50‑100克、PMMA保护层60‑80克、Cr纳米粒子50‑100克、Ni纳米粒子50‑100克、AI纳米粒子50‑100克、PET塑料100‑120克和Pd‑Ni合金纳米粒子50‑100克。
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