[发明专利]三维结构、制作三维结构的方法、及流体喷射装置在审
申请号: | 201810920080.0 | 申请日: | 2018-08-14 |
公开(公告)号: | CN109422237A | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 大卫·L·贝尔纳;克里斯多夫·A·克拉夫特;大卫·C·格拉姆;尚恩·T·威佛 | 申请(专利权)人: | 船井电机株式会社 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81C1/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 日本大阪府大东市中垣内7*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种用于处理流体的三维(“3D”)结构、一种包含所述三维结构的流体处理装置以及一种制作所述三维结构的方法。所述三维结构包括复合膜层。所述复合膜层包括:第一光致抗蚀剂层,来源于第一化学性质选自于由环氧化物当量重量、芳香族含量及交联密度组成的群组的光致抗蚀剂树脂;以及至少一第二光致抗蚀剂层,来源于第二化学性质选自于由环氧化物当量重量、芳香族含量及交联密度组成的群组的光致抗蚀剂树脂,其中所述第二化学性质不同于所述第一化学性质,且其中所述复合膜层被配置成在所述三维结构的整个厚度上具有不同的机械性质和/或物理性质。 | ||
搜索关键词: | 三维结构 复合膜层 光致抗蚀剂树脂 光致抗蚀剂层 环氧化物当量 芳香族 交联 群组 流体处理装置 流体喷射装置 处理流体 机械性质 物理性质 制作 三维 配置 | ||
【主权项】:
1.一种三维结构,其特征在于,所述三维结构包括:复合膜层,包括:第一光致抗蚀剂层,来源于第一化学性质选自于由环氧化物当量重量、芳香族含量及交联密度组成的群组的光致抗蚀剂树脂;以及至少一第二光致抗蚀剂层,来源于第二化学性质选自于由环氧化物当量重量、芳香族含量及交联密度组成的群组的光致抗蚀剂树脂,其中,所述第二化学性质不同于所述第一化学性质,且其中,所述复合膜层被配置成:在所述三维结构的整个厚度上具有不同的机械性质和/或物理性质。
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