[发明专利]一种卧式移动阴极镀膜机

摘要

本发明公开了一种卧式移动阴极镀膜机，包括安装架、真空腔体、往复运动机构、线性阴极源、弱电接入口、过滤充气、翻板阀、粗抽机械泵、前级机械泵、分子泵、插板阀、托盘入料台、入料电机和托盘，所述安装架内部一侧设置有真空腔体，本发明实现了片状和柱状钕铁硼陶瓷表面对金属铽、镝和铝镀膜的中试生产工艺，且镀膜机也可以用于各种材料的表面改性镀膜，对于钕铁硼陶瓷片和陶瓷柱磁控溅射金属化镀膜的中试生产，每天的产能也可以达到10‑50公斤；尤其适合钕铁硼磁性陶瓷片和陶瓷柱表面金属化功能膜的镀膜，例如溅射铽、镝和铝等表面改性薄膜；生产线采用全自动化设计，批次生产，生产效率高，洁净度高，可靠性好。

主权项

1.一种卧式移动阴极镀膜机，包括安装架(1)、真空腔体(2)、冷却水道(3)、检修门(4)、自转托盘动力引入口(5)、真空检测口(6)、粗抽气法兰(7)、高抽气法兰(8)、往复运动机构(9)、线性阴极源(10)、移动导轮(11)、导杆(12)、导杆安装座(13)、冷却水和强电接入口(14)、弱电接入口(15)、过滤充气(16)、观察窗(17)、托盘进口(18)、翻板阀(19)、粗抽机械泵(20)、抽气管道(21)、前级机械泵(22)、分子泵(23)、插板阀(24)、托盘入料台(25)、导辊(26)、第一传动轮(27)、传动带(28)、第二传动轮(29)、入料电机(30)和托盘(31)，其特征在于：所述安装架(1)内部一侧设置有真空腔体(2)，所述真空腔体(2)外部六面均焊接有冷却水道(3)，所述真空腔体(2)上端安装有检修门(4)，所述真空腔体(2)下端一侧设置有自转托盘动力引入口(5)，所述自转托盘动力引入口(5)一侧设置有真空检测口(6)，所述真空检测口(6)一侧设置有粗抽气法兰(7)，所述粗抽气法兰(7)一侧设置有高抽气法兰(8)，所述真空腔体(2)前侧设置有往复运动机构(9)，所述往复运动机构(9)一侧设置有线性阴极源(10)，且线性阴极源(10)两侧端均安装有移动导轮(11)，且移动导轮(11)下端设置有导杆(12)，所述导杆(12)固定连接于导杆安装座(13)上，所述往复运动机构(9)一侧相对于真空腔体(2)一侧设置有冷却水和强电接入口(14)，所述冷却水和强电接入口(14)一侧设置有弱电接入口(15)，所述真空腔体(2)远离弱电接入口(15)一侧端设置有过滤充气(16)，所述真空腔体(2)左侧设置有观察窗(17)，所述真空腔体(2)远离观察窗(17)一侧开设有托盘进口(18)，且托盘进口(18)一端安装有翻板阀(19)，所述真空腔体(2)下部一侧相对于安装架(1)内部设置有粗抽机械泵(20)，且粗抽机械泵(20)通过抽气管道(21)与粗抽气法兰(7)连接，所述粗抽机械泵(20)一侧设置有前级机械泵(22)，所述前级机械泵(22)一端设置有分子泵(23)，且分子泵(23)一端与前级机械泵(22)一端通过插板阀(24)连接，所述分子泵(23)另一端通过抽气管道(21)与高抽气法兰(8)连接，所述安装架(1)内部相对于托盘进口(18)一侧设置有托盘入料台(25)，所述托盘入料台(25)上端转动连接有导辊(26)，所述导辊(26)上端设置有托盘(31)，所述导辊(26)一端设置有第一传动轮(27)，所述第一传动轮(27)通过传动带(28)传动连接有第二传动轮(29)，所述第二传动轮(29)一端中部连接有入料电机(30)，且入料电机(30)位于安装架(1)内部。