[发明专利]接触或非接触复合原理纳米传感方法与装置有效
| 申请号： | 201810907221.5 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN109187640B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 崔俊宁;边星元;陆叶盛;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 接触或非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；针对非导体被测物采用接触探测原理传感，微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，同时也可针对非导体被测物进行测量，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 复合 原理 纳米 传感 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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