[发明专利]一种SE电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种SE电池的制备方法，包括以下步骤：表面处理；设计选择性区域；制备低浓度扩散及高浓度扩散；清洗、蚀刻；镀膜；印刷；烧结。本发明使用SE工艺匹配无铅浆料，分别对镀膜工艺及印刷工艺进行改进；在镀膜段，通过设计带图形石墨板保证镀膜过程中高浓度扩散区域不镀膜；在印刷段，未镀膜区域可直接使用无铅浆料印刷，相比传统电池技术，不仅提高了电池转换效率，还降低了有铅浆料的使用，且方法便捷可行可产业化，具有非常大的经济效益和社会效益。

主权项

1.一种SE电池的制备方法，其特征是，包括以下步骤：（1）表面处理：对硅片表面进行处理，包括硅片表面清洗及制绒；（2）设计选择性区域：通过使用掩膜图形涂覆或者激光处理的方法进行选择性区域的设计；（3）制备低浓度扩散及高浓度扩散：通过扩散或离子注入方式进行低浓度扩散及高浓度扩散的制备；（4）清洗、蚀刻：对扩散产生的磷硅玻璃清洗，用化学试剂对硅片进行刻蚀；（5）镀膜：通过在石墨舟中硅片上加盖一层石墨板，对选择性发射极中低浓度扩散区域进行镀膜，高浓度扩散区域不进行此镀膜；（6）印刷：未镀膜的高浓度扩散区域使用无铅银浆进行印刷，银浆与硅片直接接触，低浓度扩散区域使用有铅浆料进行副栅线印刷；（7）烧结：对硅片进行烧结测试分档。