[发明专利]一种声栅-反射面压电超声能量收集器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810901975.X | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109160485B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王德波;陆颢瓒;李龙飞 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;H01L41/113;H01L41/22 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种声栅‑反射面压电超声能量收集器及其制备方法，所述能量收集器包括压电声栅、支撑结构和压电反射层，所述压电声栅通过支撑结构与反射面相连；所述压电声栅为多层平面结构，所述多层平面上刻蚀有多条相互平行的缝隙；所述压电反射层从上往下依次包括：第一金属电极、第一压电材料层和衬底；所述压电声栅从上往下依次包括：第二金属电极、第二压电材料层、结构反射层、第三压电材料层和第三金属电极；本发明通过压电反射层和压电声栅对于超声波的相互反射/吸收作用，实现了超声能量收集利用效率的最大化；相比于传统的超声压电能量收集器，本发明具有收集效率高、器件稳定性强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 压电 超声 能量 收集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种声栅‑反射面压电超声能量收集器，其特征在于，包括压电声栅、支撑结构和压电反射层，所述压电声栅通过支撑结构与反射面相连；所述压电声栅与压电反射层之间设有反射空腔，用于供超声波在所述压电声栅与压电反射层之间来回反射吸收；所述压电声栅为多层平面结构，所述多层平面上刻蚀有多条相互平行的缝隙。
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