[发明专利]空间宽温域环境下高结合力固体润滑膜层及其制备方法有效
| 申请号： | 201810900908.6 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN108977776B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 鞠鹏飞;吴超;宋晓航;沙春生;曹晓;李忠建;周宏 | 申请（专利权）人： | 上海航天设备制造总厂有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/48;C23C28/00 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 余岢 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种空间宽温域环境下高结合力固体润滑膜及其制备方法，采用离子注入与沉积结合磁控溅射技术在钛合金、铝合金、不锈钢、轴承钢基底上沉积由结合层(Ti)、过渡层(TiN/TiCN)和功能层(TiN/MoS |
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| 搜索关键词： | 空间 宽温域 环境 结合 固体 润滑 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空间宽温域环境下高结合力固体润滑膜层,包括基体和在基体表面沉积的膜层,其特征在于:所述在基体表面沉积的膜层包括Ti结合层、TiN/TiCN过渡层，TiN、MoS2‑Ag交替排列的功能层；最外层为MoS2‑Ag层。
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