[发明专利]一种柔性瞬态硅薄膜光电晶体管及制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性瞬态硅薄膜光电晶体管，主要解决现有光电晶体管不具有柔性可穿戴与瞬态可降解性的问题，其自下而上包括衬底(1)、粘附层(2)、硅薄膜活性层(3)、金属电极(5)、二氧化硅钝化层(6)，其中衬底(1)采用柔性瞬态氧化铟锡/聚乳酸衬底；硅薄膜活性层(3)与金属电极(5)之间设有二氧化钛插入层(4)，以改善源漏极的欧姆接触；二氧化硅钝化层(6)上淀积有氧化锌种子层(7)，为氧化锌纳米线的生长提供成核位置；氧化锌种子层(7)上生长有氧化锌纳米线(8)，以减少光的反射，增加大角度入射光的吸收。本发明具有柔性和瞬态溶解的特性，可用于光通讯、物体检测、光耦合及柔性可穿戴与瞬态自销毁。

主权项

1.一种柔性瞬态硅薄膜光电晶体管，自下而上包括：衬底(1)、粘附层(2)、硅薄膜活性层(3)、金属电极(5)、二氧化硅钝化层(6)，其特征在于：衬底(1)采用柔性瞬态氧化铟锡/聚乳酸衬底；在硅薄膜活性层(3)与金属电极(5)之间设有二氧化钛插入层(4)，以改善源漏极的欧姆接触；在二氧化硅钝化层(6)上淀积有氧化锌种子层(7)，以为氧化锌纳米线的生长提供成核位置，促进氧化锌纳米线的生长；在氧化锌种子层(7)上生长有氧化锌纳米线(8)，以减少光的反射，并增加大角度入射光的吸收。