[发明专利]一种洁净室腐蚀性气体来源确定方法

摘要

本发明公开了一种洁净室腐蚀性气体来源确定方法，包括如下步骤：(1)提供一洁净室；(2)监测每个所述检测机构的腐蚀试片的电性能参数确定受害区；(3)采集腐蚀试片并辨识出腐蚀性气体包含的化学物质；(4)采集洁净室周围的环境空气并辨识出环境空气包含的化学物质；(5)确定各个机台使用的化学物质和各个工艺使用的化学物质及其衍生物；(6)确定腐蚀性气体的可疑来源；(7)通过计算流体动力学模型模拟各个可疑来源释放的化学物质的流动；(8)确定为腐蚀性气体的来源。本发明的洁净室腐蚀性气体来源确定方法，不但能够检测受害区，而且可以确定腐蚀性气体来源，对洁净室的污染问题达到标本兼治的目的。

主权项

1.一种洁净室腐蚀性气体来源确定方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)提供一洁净室，所述洁净室包括自上而下依次设置的送风空间、天花板、洁净空间、高架地板以及回风空间，所述天花板划分为复数个送风区，所述高架地板划分为复数个排风区，所述送风区与所述排风区一一对应的上下布置且对应的二者之间形成柱形空间，所述洁净室还包括与所述柱形空间一一对应的检测机构，所述检测机构包括与流经其所对应柱形空间的腐蚀性气体接触的腐蚀试片和检测所述腐蚀试片电性能参数的检测单元，转至步骤(2)；(2)监测每个所述检测机构的腐蚀试片的电性能参数，如某个所述检测机构的腐蚀试片的电性能参数按照一个趋势持续发生变化，则判断该检测机构所对应的柱形空间为受害区，转至步骤(3)；(3)采集被腐蚀性气体污染的所述腐蚀试片并辨识出所述腐蚀性气体包含的化学物质，转至步骤(6)；(4)采集所述洁净室周围的环境空气并辨识出所述环境空气包含的化学物质，转至步骤(6)；(5)确定各个机台使用的化学物质和各个工艺使用的化学物质及其衍生物，转至步骤(6)；(6)所述环境空气包含的化学物质、各个所述机台使用的化学物质以及各个工艺使用的化学物质及其衍生物中，与所述腐蚀性气体包含的化学物质相似的一者或多者被确定为腐蚀性气体的可疑来源，转至步骤(7)；(7)通过计算流体动力学模型模拟各个所述可疑来源释放的化学物质的流动，转至步骤(8)；(8)各个所述可疑来源中，释放的化学物质流动至所述受害区的腐蚀试片的一者或多者被确定为腐蚀性气体的来源。