[发明专利]一种微型共焦显微成像装置有效
申请号: | 201810893110.3 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN108873287B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 刘涛;刘康;杨树明;刘强;王通;田博;蒋庄德 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G02B5/18;G02B27/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 高博 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种微型共焦显微成像装置,包括激光器、分光镜、精密位移台和光电探测器,激光器与分光镜之间依次设置有第一菲涅尔波带片和四分之一波片;精密位移台设置在分光镜的下方,被测样品设置在精密位移台上,分光镜与精密位移台之间设置有超表面聚焦单元;光电探测器设置在分光镜的一侧,分光镜与光电探测器之间设置有第二菲涅尔波带片;精密位移台用于对被测样品进行精密微位移控制,实现二维或三维扫描成像。本发明使用菲涅尔波带片和超表面透镜等平面透镜对共焦显微成像装置进行集成化设计,形成了一种结构简单、紧凑,造价更为便宜的微型化共焦显微成像装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 微型 显微 成像 装置 | ||
【主权项】:
1.一种微型共焦显微成像装置,其特征在于,包括激光器(1)、分光镜(5)、精密位移台(8)和光电探测器(12),激光器(1)与分光镜(5)之间依次设置有第一菲涅尔波带片(3)和四分之一波片(4);精密位移台(8)设置在分光镜(5)的下方,被测样品(7)设置在精密位移台(8)上,分光镜(5)与精密位移台(8)之间设置有超表面聚焦单元(6);光电探测器(12)设置在分光镜(5)的一侧,分光镜(5)与光电探测器(12)之间设置有第二菲涅尔波带片(9)和探测针孔(11);精密位移台(8)用于对被测样品(7)进行精密微位移控制,实现二维或三维扫描成像。
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