[发明专利]具有强铁磁性的CaB6 有效
| 申请号： | 201810888661.0 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN108950505B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 康丽纳 | 申请（专利权）人： | 泉州市康馨化工科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/06;C03C17/36 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 张玺 |
| 地址： | 362200 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有强铁磁性的CaB6薄膜的制备方法，包括如下步骤：准备玻璃衬底；以CuGe合金为靶材，在玻璃衬底上沉积CuGe层，其中，CuGe层厚度为15‑30nm；以CoPbMn合金为靶材，在CuGe层上沉积CoPbMnO层，其中，CoPbMnO层厚度为20‑40nm；以DyZn合金为靶材，在CoPbMnO层上沉积DyZn层，其中，DyZn层厚度为10‑30nm；以NdFeB为靶材，在DyZn层上沉积第一NdFeB层，其中，第一NdFeB层厚度为20‑40nm；以PrZn合金为靶材，在第一NdFeB层上沉积PrZn层，其中，PrZn层厚度为5‑10nm；以NdFeB为靶材，在PrZn层上沉积第二NdFeB层，其中，第二NdFeB层厚度为10‑20nm；以及以CaB6为靶材，在第二NdFeB层上沉积CaB6层，其中，CaB6层厚度为30‑50nm。本发明的制备方法提高了材料整体的饱和磁化强度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 铁磁性 cab base sub | ||
【主权项】：
1.一种具有强铁磁性的CaB6薄膜的制备方法，其特征在于：所述具有强铁磁性的CaB6薄膜的制备方法包括如下步骤：准备玻璃衬底；以CuGe合金为靶材，在所述玻璃衬底上沉积CuGe层，其中，所述CuGe层厚度为15‑30nm；以CoPbMn合金为靶材，在所述CuGe层上沉积CoPbMnO层，其中，所述CoPbMnO层厚度为20‑40nm；以DyZn合金为靶材，在所述CoPbMnO层上沉积DyZn层，其中，所述DyZn层厚度为10‑30nm；以NdFeB为靶材，在所述DyZn层上沉积第一NdFeB层，其中，所述第一NdFeB层厚度为20‑40nm；以PrZn合金为靶材，在所述第一NdFeB层上沉积PrZn层，其中，所述PrZn层厚度为5‑10nm；以NdFeB为靶材，在所述PrZn层上沉积第二NdFeB层，其中，所述第二NdFeB层厚度为10‑20nm；以及以CaB6为靶材，在所述第二NdFeB层上沉积CaB6层，其中，所述CaB6层厚度为30‑50nm。
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