[发明专利]对准方法、对准装置、真空蒸镀方法及真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201810859503.2 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN109423603B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 谷和宪;长沼义人;内田亘 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供对准标记检测方法，利用光学部件检测基体上的对准标记，包括：由光学部件拍摄对准标记获得图像数据的工序；及将所获得的图像数据与模型图像比较，检测对准标记的位置的工序，模型图像包括：预先通过对准标记的拍摄获得的第1模型图像；及基于对准标记的设计数据作成的第2模型图像，在获得图像数据的工序中获得的图像数据的聚焦值位于包括峰值的规定的范围内的情况下，位置检测工序中通过将获得的图像数据与第1模型图像比较的真实图像处理，检测对准标记的位置，在获得图像数据的工序中所获得的图像数据的聚焦值偏离规定的范围的情况下，位置检测工序中通过将获得的图像数据与第2模型图像比较的人工图像处理，检测对准标记的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 方法 装置 真空 | ||
【主权项】：
1.一种对准标记检测方法，利用光学部件检测基体上的对准标记，其特征在于，该对准标记检测方法包括：由上述光学部件拍摄上述对准标记而获得图像数据的工序；以及将所获得的上述图像数据与模型图像比较，检测上述对准标记的位置的工序，上述模型图像包括：预先通过上述对准标记的拍摄而获得的第1模型图像；以及基于上述对准标记的设计数据而作成的第2模型图像，在获得上述图像数据的工序中所获得的上述图像数据的聚焦值位于包括峰值的规定的范围内的情况下，在上述位置检测工序中，通过将所获得的上述图像数据与上述第1模型图像比较的真实图像处理，检测上述对准标记的位置，在获得上述图像数据的工序中所获得的上述图像数据的聚焦值偏离上述规定的范围的情况下，在上述位置检测工序中，通过将所获得的上述图像数据与上述第2模型图像比较的人工图像处理，检测上述对准标记的位置。
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