[发明专利]一种压力传感器及其检测压力的方法有效
| 申请号： | 201810847853.7 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108896222B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 周威龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器及其检测压力的方法，该压力传感器包括：相对而置的第一基板和第二基板，位于二者之间的干涉滤光结构，位于第二基板背离第一基板一侧的感光元件；干涉滤光结构具有在其内部产生多光束干涉的自发光部件；干涉滤光结构根据接收到的外界压力产生厚度形变，使得多光束干涉后的自发光转变为亮度与干涉滤光结构的厚度相关的出射光；感光元件用于检测出射光，并根据出射光生成表征对应压力的电信号。因干涉滤光结构的厚度与外界压力有关，且经多光束干涉后的自发光可转变为亮度与厚度相关的出射光，又经多光束干涉作用形成的出射光的亮条纹较细锐，使得感光元件可轻易地检测到出射光，实现了压力检测的高分辨率和高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 检测 压力 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：相对而置的第一基板和第二基板，位于所述第一基板和所述第二基板之间的干涉滤光结构，以及位于所述第二基板背离所述第一基板一侧的感光元件；其中，所述干涉滤光结构具有在其内部产生多光束干涉的自发光部件；所述干涉滤光结构根据接收到的外界压力产生厚度形变，使得多光束干涉后的自发光转变为亮度与所述干涉滤光结构的厚度相关的出射光；所述感光元件用于检测出射光，并根据出射光生成表征对应压力的电信号。
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