[发明专利]一种AlCrN/AlCrYN多元多层涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810843514.1 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109097731B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王启民;钟星;吴正涛;许雨翔;莫锦君 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲;杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于材料涂层制备技术领域，公开了一种AlCrN/AlCrYN多元多层涂层及其制备方法和应用。采用脉冲电流输入阴极电弧制备；多元多层涂层通过工件转架的公转带动自转实现多层结构，旋转速度的快慢决定了周期性多层的厚度。通过在AlCr靶中添加Y形成AlCrYN多元涂层；制备多元多层涂层前，先沉积0.1～1μm厚的AlCrN层作为涂层与基体之间的过渡层，为多元多层结构提供支撑；制备的多元多层涂层成分为Al:12～30at.％,Cr:14～33at.％,Y:1～5at.％,N:47～57at.％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 alcrn alcryn 多元 多层 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种AlCrN/AlCrYN多元多层涂层，其特征在于：该涂层由下到上包括衬底基体、AlCrN过渡层和AlCrN/AlCrYN功能层；AlCrN/AlCrYN功能层是由调制比为1:2的AlCrN中间层与AlCrYN中间层交替沉积而成，调制周期为15～50nm；AlCrN/AlCrYN功能层中各元素的原子百分比含量：Al:12～30at.％,Cr:14～33at.％,Y:1～5at.％,N:47～57at.％。
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