[发明专利]一种用于平凸非球面透镜波前测试中的消倾斜装置及方法有效
| 申请号： | 201810839602.4 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108956098B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王凯亮 | 申请（专利权）人： | 莱特巴斯光学仪器（镇江）有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 212009 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于平凸非球面透镜波前测试中的消倾斜装置及方法，调整第一平面反射镜使其与干涉仪主机平行，干涉仪主机发出的准直光束由第一平面反射镜直接反射后，沿原光路返回并于干涉仪主机内部的参考镜直接干涉形成干涉条纹，调整第一平面反射镜的俯仰倾斜角度，使得干涉条纹为零级条纹，打开光阑，保持第一平面反射镜不动，调整第二平面反射镜使其与第一平面反射镜平行，调整第二平面反射镜的俯仰倾斜角度，使得成像相机处得到的干涉条纹为零级条纹，装上干涉仪物镜，放置被测平凸非球面镜，调整被测平凸非球面镜使其与第二平面反射镜平行，调整被测平凸非球面镜的俯仰倾斜角度，使得成像相机处得到的干涉条纹为零级条纹。能够消除倾斜误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平凸非 球面 透镜 测试 中的 倾斜 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于平凸非球面透镜波前测试中的消倾斜装置，其特征在于：包括准直激光光源、第一半透半反镜、第二半透半反镜、第二平面反射镜、光阑和成像相机；所述第一半透半反镜位于干涉仪主机与待测平凸非球面镜之间，所述准直激光光源、第一半透半反镜、第二半透半反镜和光阑位于同一高度，所述光阑位于第一半透半反镜和第二半透半反镜之间，所述准直激光光源位于第二半透半反镜的外侧，所述第一半透半反镜与第二半透半反镜呈八字形排列，所述第二平面反射镜和成像相机分别位于第二半透半反镜的上方和下方。
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