[发明专利]一种可用于水下湍流边界层壁面脉动压力测试的柔性基微传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种可用于水下湍流边界层壁面脉动压力测试的柔性基微传感器及其制造方法，属于传感器技术领域。该微传感器主要包括上电极及引线1，下电极及引线2，金属弹性层3，压电薄膜4，绝缘层5，柔性衬底6，聚合物绝缘防护层7。所述柔性衬底6上分别为金属弹性层3、绝缘层5，构成传感器敏感单元底层结构；上电极及引线1‑压电薄膜4‑下电极及引线2形成“三明治结构”式的敏感单元，置于绝缘层5之上。所述柔性衬底6背面与敏感单元相应的位置处有背腔，用于平衡深水静压；整个传感器传感器表面沉积有聚合物绝缘防护层7。柔性基脉动压力微传感器采用标准的MEMS制造工艺，空间时间分辨率高，且谐振频率高，满足水下湍流边界层脉动压力宽频测试需求，便于阵列化，适合于水下航行器曲面贴附。

主权项

1.可用于水下湍流边界层壁面脉动压力测试的柔性基微传感器，其特征在于，主要包括上电极及引线1，下电极及引线2，金属弹性层3，压电薄膜4，绝缘层5，柔性衬底6，聚合物绝缘防护层7；所述柔性衬底6上分别为金属弹性层3、绝缘层5，构成传感器敏感单元底层结构；上电极及引线1‑压电薄膜4‑下电极及引线2形成“三明治结构”式的敏感单元，置于绝缘层5之上；所述柔性衬底6背面与敏感单元相应的位置处有背腔；整个传感器传感器表面沉积有聚合物绝缘防护层7。