[发明专利]一种纳米棒阵列异质结结构紫外光探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米棒阵列异质结结构紫外光探测器的制备方法，属于半导体光电探测技术领域。本发明首先水热合成了有序排列的SnO2纳米棒阵列，再在其表面生长有序排列的ZnO纳米棒阵列，构成异质结结构，促进光生电子传递。其制备方法简单、反应条件易控、操作费用低。将所制得电极材料导电面面对面贴合，构成结构简单的三明治结构的紫外光探测器。该紫外光探测器具有极好的紫外光选择性、优异的紫外光响应度和光响应速率，解决了紫外光探测器高响应度和高响应速率难以兼得的问题，是一种高性能的紫外光探测器。

主权项

1.一种氧化锡‑氧化锌纳米棒阵列异质结结构紫外光探测器的制备方法，其特征在于，步骤如下：在FTO导电玻璃上旋涂氧化锡晶种层，水热法在其上生长有序排列的SnO2纳米棒阵列，水热法在SnO2纳米棒阵列表面上生长有序排列的ZnO纳米棒阵列，构成异质结结构；SnO2纳米棒阵列的直径为8.93～62.50nm，长度为127.5～553.1nm；ZnO纳米棒阵列的直径为53.55～129.7nm，长度为0.872～3.19μm。